육안 분석방법 : 세라믹히터의 외관 균열 및 변색, 단선 등을 육안으로 확인

광학현미경 : 고장부위를 저배율(10~1,000배)로 확대하여 균열 및 단선 등을 더 명확하게 분석함.

주사전자현미경 : Electron source로부터 방출된 e-beam이 시편에 주사되면서 이차적으로 발생되는 다양한 전자를 이용하여 고장부위의 미세조직을 관찰 분석함

레이저 현미경 : 고장부위의 표면관찰 및 3D 이미지상을 관할함. (배율 1500배)

전기적 특성 검사 : 파워미터, 전압계, 전류계, 저항계, 내전압시험기, 누설전류시험기, , 절연저항시험기, 파형관측기

재료적 특성 검사 : 재료만능시험기, 조도측정기

X-ray Scope : 물질 투과성이 좋은 x-ray를 시료에 투과시켜 시료 내부의 구조 및 고장을 분석함. 2차원 및 3차원으로의 분석이 가능함.

초음파를 시료에 투과시킬 때 재료의 물리적 특성, 결함 특성 등에 따라 투과,반사, 감쇄 및 회절이 되어 이를 이용하여 시료의 특성과 결함을 분석함.

미소영역 : 시료의 일부를 분리하여 전자주사현미경으로 미세구조를 분석함.

결정구조 : 시료의 일부를 분리하여 x-선 회절분석기(XRD), 투과전자현미경(TEM)를 이용하여 고장부위의 결절구조 변화에 대해 분석함.

성분분석 : 고장시료의 성분분석으로 X-선 형광분석기(XRF), 전자현미분석기(EPMA), 에너지분산형분석기(EDS)